FIRST 20 YEARS OF AMERICAN-VACUUM-SOCIETY

被引:8
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作者
SCHLEUNI.HW
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1973年 / 10卷 / 05期
关键词
D O I
10.1116/1.1318438
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:833 / 842
页数:10
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