NUMERICAL CALCULATION OF LOW-FREQUENCY CAPACITANCE-VOLTAGE CURVES OF MOS CAPACITORS WITH NONCONSTANT DOPING PROFILES

被引:3
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作者
PANIGRAHI, G [1 ]
机构
[1] UNIV ILLINOIS, DEPT COMP SCI, URBANA, IL 61801 USA
关键词
D O I
10.1049/el:19730030
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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