A NEW ANALYTICAL MODEL FOR SPIN COATING PROCESS WITH SOLVENT EVAPORATION

被引:15
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作者
SHIMOJI, S
机构
来源
关键词
D O I
10.1143/JJAP.26.L905
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:L905 / L907
页数:3
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