INVERSION-LAYERS IN SILICON ON INSULATING SUBSTRATES

被引:11
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作者
ENGLERT, T
LANDWEHR, G
PONTCHARRA, J
DORDA, G
机构
[1] CEN GRENOBLE,ELECTR LAB,GRENOBLE,FRANCE
[2] CEN GRENOBLE,TECHNOL INFORMAT LAB,GRENOBLE,FRANCE
[3] SIEMENS AG,FORSCH LAB,MUNCHEN,FED REP GER
关键词
D O I
10.1016/0039-6028(80)90524-5
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
摘要
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页码:427 / 436
页数:10
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