FABRICATION OF P+-N-N+ SILICON SOLAR-CELLS BY SIMULTANEOUS DIFFUSION OF BORON AND PHOSPHORUS INTO SILICON THROUGH SILICON DIOXIDE

被引:23
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作者
JAIN, GC
SINGH, SN
KOTNALA, RK
ARORA, NK
机构
关键词
D O I
10.1063/1.329324
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:4821 / 4824
页数:4
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