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ENHANCEMENT OF THE KINETICS OF THERMAL-OXIDATION OF SILICON USING 1,1,1-TRICHLOROETHANE
被引:1
|作者:
FLEMISH, JR
[1
]
TRESSLER, RE
[1
]
MONKOWSKI, JR
[1
]
机构:
[1] MONKOWSKI RHINE INC,SAN DIEGO,CA 92126
关键词:
D O I:
10.1149/1.2095920
中图分类号:
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号:
081704 ;
摘要:
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页码:1192 / 1194
页数:3
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