ELECTRICAL AND STRUCTURAL PROPERTIES OF OXYGEN DOPED SPUTTERED TANTALUM FILMS

被引：0
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作者：
WATERHOU.N
WILLMOTT, DJ
机构：
来源：
AMERICAN CERAMIC SOCIETY BULLETIN | 1971年 / 50卷 / 04期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];
学科分类号：
0805 ; 080502 ;
摘要：
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页码：392 / &
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