CONTROL OF RESIDUAL IMPURITIES IN VERY HIGH-PURITY GAAS GROWN BY ORGANOMETALLIC VAPOR-PHASE EPITAXY

被引:37
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作者
SHASTRY, SK
ZEMON, S
KENNESON, DG
LAMBERT, G
机构
关键词
D O I
10.1063/1.99034
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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