UBER DEN AUFBAU UND DIE STRUKTUR AUFGEDAMPFTER SILICIUMSCHICHTEN UND IHR VERHALTEN BEI HOHEN TEMPERATUREN

被引：7

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作者：

HASS, G

机构：

来源：

ZEITSCHRIFT FUR ANORGANISCHE CHEMIE | 1948年 / 257卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1002/zaac.19482570402

中图分类号：

O61 [无机化学];

学科分类号：

070301 ; 081704 ;

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页码：166 / 172

页数：7

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