THE EFFECT OF SILICON PURITY ON THE STRENGTH OF REACTION-BONDED SI3N4

被引:10
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作者
MANGELS, JA
机构
关键词
D O I
10.1007/BF00550647
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
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页码:2132 / 2135
页数:4
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