IMPROVEMENTS IN THE DISILANE PLASMA DEPOSITION OF HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON SOLAR-CELLS

被引:3
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作者
VANIER, PE [1 ]
SU, FC [1 ]
机构
[1] SUNY STONY BROOK,DEPT MAT SCI & ENGN,STONY BROOK,NY 11794
来源
SOLAR CELLS | 1987年 / 21卷
关键词
D O I
10.1016/0379-6787(87)90116-5
中图分类号
TE [石油、天然气工业]; TK [能源与动力工程];
学科分类号
0807 ; 0820 ;
摘要
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页码:167 / 175
页数:9
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