MECHANICAL-PROPERTIES OF DIAMOND THIN-FILMS PREPARED BY CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引：7
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作者：
SEINO, Y
HIDA, N
NAGAI, S
机构：
[1] National Research Laboratory of Metrology, Ibaraki, 305, 1-1-4, Umezono, Tsukuba
来源：
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS | 1992年 / 11卷 / 08期
关键词：
D O I：
10.1007/BF00731123
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
[No abstract available]
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