SOME PROBLEMS OF MEASUREMENTS OF EPITAXIAL AND DIFFUSED LAYERS OF SEMICONDUCTORS

被引:0
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作者
FRANK, H [1 ]
机构
[1] CHECHOSLOVAK HIGHER TECH UNIV, FAK JADERNA FYS INZENYRSKA, PRAGUE, CZECHOSLOVAKIA
来源
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
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页码:253 / 271
页数:19
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