RATE LIMITATION AT THE SURFACE FOR IMPURITY DIFFUSION IN SEMICONDUCTORS

被引:56
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作者
SMITS, FM
MILLER, RC
机构
来源
PHYSICAL REVIEW | 1956年 / 104卷 / 05期
关键词
D O I
10.1103/PhysRev.104.1242
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
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页码:1242 / 1245
页数:4
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