LOCAL CHARGE INFLUENCE ON IMPURITY DIFFUSION IN SEMICONDUCTORS

被引:1
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作者
BUONOMO, A [1 ]
DIBELLO, C [1 ]
机构
[1] UNIV NAPLES,DIPARTIMENTO INGN ELETTR,I-80125 NAPLES,ITALY
关键词
D O I
10.1049/el:19860526
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:765 / 767
页数:3
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