A COMPARISON OF BORON EMISSION CHARACTERISTICS FOR LIQUID-METAL ION SOURCES OF PTB, PDB, AND NIB

被引:16
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作者
SWANSON, LW
BELL, AE
SCHWIND, GA
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1988年 / 6卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.584049
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:491 / 495
页数:5
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