COMMENTS ON THE HISTORY OF VACUUM PUMPS

被引：12
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作者：
HABLANIAN, MH
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1984年 / 2卷 / 02期
关键词：
D O I：
10.1116/1.572699
中图分类号：
TB3 [工程材料学];
学科分类号：
0805 ; 080502 ;
摘要：
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页码：118 / 125
页数：8
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