IODINE ION MILLING OF COMPOUND SEMICONDUCTORS FOR TRANSMISSION ELECTRON-MICROSCOPY

被引:0
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作者
TANAKA, K
MORI, M
ISHIDA, Y
TANINO, M
机构
[1] UNIV TOKYO,FAC ENGN,BUNKYO KU,TOKYO 113,JAPAN
[2] UNIV TOKYO,INST IND SCI,MINATO KU,TOKYO 106,JAPAN
[3] NIPPON STEEL CORP LTD,FUNDAMENTAL RES LABS,KAWASAKI 211,JAPAN
来源
JOURNAL OF ELECTRON MICROSCOPY | 1989年 / 38卷 / 04期
关键词
D O I
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中图分类号
TH742 [显微镜];
学科分类号
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