SPECIAL ISSUE ON MODELING AND SIMULATION OF COLLISIONAL LOW-TEMPERATURE PLASMAS

被引:0
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作者
WU, CH
MEYYAPPAN, M
ECONOMOU, DJ
机构
[1] AUBURN UNIV,ALABAMA MICROELECTR SCI & TECHNOL CTR,AUBURN,AL 36849
[2] SCI RES ASSOCIATES INC,GLASTONBURY,CT 06033
[3] UNIV HOUSTON,DEPT CHEM ENGN,PLASMA PROC LAB,HOUSTON,TX 77204
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O35 [流体力学]; O53 [等离子体物理学];
学科分类号
070204 ; 080103 ; 080704 ;
摘要
引用
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页码:501 / 502
页数:2
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