HIGH-RESOLUTION ELECTRON-MICROSCOPY BY AN INCOHERENT ILLUMINATION METHOD

被引:11
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作者
NAGATA, F [1 ]
MATSUDA, T [1 ]
KOMODA, T [1 ]
机构
[1] HITACHI LTD,CENT RES LAB,KOKUBUNJI,TOKYO,JAPAN
关键词
D O I
10.1143/JJAP.14.1815
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:1815 / 1816
页数:2
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