X-RAY-DIFFRACTION STUDIES OF THIN-FILMS AND MULTILAYER STRUCTURES

被引:62
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作者
SEGMULLER, A [1 ]
NOYAN, IC [1 ]
SPERIOSU, VS [1 ]
机构
[1] IBM CORP,ALMADEN RES CTR,SAN JOSE,CA 95120
关键词
D O I
10.1016/0146-3535(89)90024-5
中图分类号
O7 [晶体学];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
摘要
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