EVALUATION OF SURFACE-ROUGHNESS PARAMETERS OF METAL-FILMS BY LIGHT-SCATTERING TECHNIQUE

被引:19
|
作者
NAOI, Y
FUKUI, M
机构
关键词
D O I
10.1143/JPSJ.58.4511
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
引用
收藏
页码:4511 / 4516
页数:6
相关论文
共 50 条