SOME PROPERTIES OF CRYSTALLIZED TANTALUM PENTOXIDE THIN-FILMS ON SILICON

被引：95
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作者：
OEHRLEIN, GS
DHEURLE, FM
REISMAN, A
机构：
来源：
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1984年 / 55卷 / 10期
关键词：
D O I：
10.1063/1.332924
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
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页码：3715 / 3725
页数：11
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