STUDIES ON DESIGN THEORY OF LAMINAR-FLOW TYPE CLEAN ROOM - PARTICLE DEPOSITION TO THE SURFACE

被引:0
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作者
FUJII, S [1 ]
HAYAKAWA, I [1 ]
IWASE, K [1 ]
机构
[1] TOKYO INST TECHNOL,TOKYO 152,JAPAN
来源
JOURNAL OF ENVIRONMENTAL SCIENCES | 1985年 / 28卷 / 02期
关键词
D O I
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