A SIMPLE-MODEL FOR SEPARATING INTERFACE AND OXIDE CHARGE EFFECTS IN MOS DEVICE CHARACTERISTICS

被引:116
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作者
GALLOWAY, KF [1 ]
GAITAN, M [1 ]
RUSSELL, TJ [1 ]
机构
[1] NBS,DIV SEMICOND DEVICES & CIRCUITS,GAITHERSBURG,MD 20899
关键词
D O I
10.1109/TNS.1984.4333537
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:1497 / 1501
页数:5
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