TREATING AND PASSIVATING VACUUM-SYSTEMS AND COMPONENTS IN COLD-CATHODE DISCHARGES

被引:12
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作者
HOLLAND, L [1 ]
机构
[1] UNIV SUSSEX,SCH APPL SCI,BRIGHTON,SUSSEX,ENGLAND
关键词
D O I
10.1016/S0042-207X(76)80989-X
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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