SILICON FROM MICROWAVE PLASMAS - OPTICAL-PROPERTIES AND THEIR RELATION TO STRUCTURE

被引：4
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作者：
HERAK, TV
SCHELLENBERG, JJ
SHUFFLEBOTHAM, PK
KAO, KC
CARD, HC
机构：
[1] Univ of Manitoba, Winnipeg, Manit,, Can, Univ of Manitoba, Winnipeg, Manit, Can
来源：
JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS | 1988年 / 103卷 / 01期
关键词：
The financial support of the Natural Sciences and Engineering Research Council of Canada (NSERC) is gratefully acknowledged;
D O I：
10.1016/0022-3093(88)90424-3
中图分类号：
TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];
学科分类号：
0805 ; 080502 ;
摘要：
引用
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页数：6
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