FORMATION OF NEGATIVE-IONS IN CS SPUTTER SOURCES

被引:3
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作者
YNTEMA, JL
BILLQUIST, PJ
机构
来源
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1986年 / 57卷 / 05期
关键词
D O I
10.1063/1.1138852
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
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页数:3
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