CROSS-SECTIONAL CHARACTERIZATION OF INTEGRATED-CIRCUIT STRUCTURES BY SCANNING ELECTRON-MICROSCOPY

被引：0
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作者：
KUMAR, AV
SARMA, GH
PRABHAKAR, A
机构：
来源：
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS | 1987年 / 6卷 / 06期
关键词：
D O I：
10.1007/BF01770907
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
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页码：633 / 634
页数：2
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