CAPACITANCE MODELS FOR INTEGRATED-CIRCUIT METALLIZATION WIRES

被引:62
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作者
RUEHLI, AE [1 ]
BRENNAN, PA [1 ]
机构
[1] IBM CORP,THOMAS J WATSON RES CTR,YORKTOWN HTS,NY 10598
关键词
D O I
10.1109/JSSC.1975.1050654
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:530 / 536
页数:7
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