Ion-Beam Methods for High-Precision Processing of Optical Surfaces

被引:0
|
作者
I. G. Zabrodin
M. V. Zorina
I. A. Kas’kov
I. V. Malyshev
M. S. Mikhailenko
A. E. Pestov
N. N. Salashchenko
A. K. Chernyshev
N. I. Chkhalo
机构
[1] Institute for Physics of Microstructures,
[2] Russian Academy of Sciences,undefined
来源
Technical Physics | 2020年 / 65卷
关键词
D O I
暂无
中图分类号
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:1837 / 1845
页数:8
相关论文
共 50 条