Surface micromachining: A brief introduction

被引：9

|

作者：

Mehregany, M ^{[1
]}

Zorman, CA

机构：

[1] Case Western Reserve Univ, Dept Elect Engn & Appl Phys, Cleveland, OH 44106 USA

[2] Case Western Reserve Univ, Microfabricat Lab, Cleveland, OH 44106 USA

来源：

MRS BULLETIN | 2001年 / 26卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1557/mrs2001.61

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

[No abstract available]

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页码：289 / 290

页数：2

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