Selective-area epitaxy and in-situ etching of GaAs using tris-dimethylaminoarsenic by chemical beam epitaxy

被引:3
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作者
Li, NY [1 ]
Tu, CW [1 ]
机构
[1] UNIV CALIF SAN DIEGO,DEPT ELECT & COMP ENGN,LA JOLLA,CA 92093
关键词
D O I
10.1557/PROC-421-15
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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