The Photopolymer Science and Technology Award

被引：0
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作者：
Nagai, Tomoki [1 ]
Nagahara, Seiji [2 ]
机构：
[1] JSR Corp, Tokyo, Japan
[2] Tokyo Electron Ltd, Tokyo, Japan
来源：
JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY | 2017年 / 30卷 / 01期
关键词：
CONTAINING BLOCK-COPOLYMERS; CONTACT HOLE SHRINK; LITHOGRAPHY; SIMULATIONS; DEFECTIVITY; NM;
D O I：
暂无
中图分类号：
O63 [高分子化学（高聚物）];
学科分类号：
070305 ; 080501 ; 081704 ;
摘要：
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