共 50 条
The Photopolymer Science and Technology Award
被引:0
|作者:
Nagahara, Seiji
[1
]
机构:
[1] Tokyo Electron Ltd, Tokyo, Japan
关键词:
FORMING BLOCK-COPOLYMERS;
THIN-FILMS;
DENSITY MULTIPLICATION;
CHEMICAL-PATTERNS;
FABRICATION;
FEATURES;
D O I:
暂无
中图分类号:
O63 [高分子化学(高聚物)];
学科分类号:
070305 ;
080501 ;
081704 ;
摘要:
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