4H-SiC TPJBS二极管器件结构和器件仿真

被引:3
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作者
张海鹏 [1 ,2 ,3 ]
齐瑞生 [1 ]
王德君 [4 ]
王勇 [3 ]
机构
[1] 杭州电子科技大学电子信息学院射频电路与系统教育部重点实验室
[2] 大连理工大学,电子信息与电气工程学部电子科学与技术学院
[3] 杭州汉安半导体有限公司
[4] 大连理工大学电子信息与电气工程学部电子科学与技术学院
关键词
碳化硅; 功率器件; 电学特性; 器件仿真;
D O I
暂无
中图分类号
TN303 [结构、器件];
学科分类号
摘要
4H-SiC JBS器件具有通态电压较高、泄漏电流较大、静态功耗较高等缺点。为探索改善这些缺点的理论方法和技术途径,提出一种沟槽P型PN结肖特基势垒复合4H-SiC二极管。采用Silvaco TCAD对该器件的正向导通特性和反向阻断特性进行仿真,仿真结果表明,与具有类似参数的传统4H-SiC JBS相比,该器件具有更低的通态电阻、更小的反向泄漏电流及更低的静态功耗,更适合高频大功率低功耗电力电子系统应用。
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