一种SECS/GEM协议的实现方法

被引：3

作者：

陈小飞 ^{[1
]}

谢政华 ^{[1
]}

汪昌来 ^{[1
]}

机构：

[1] 安徽大华半导体科技有限公司

来源：

软件 | 2019年 / 10期

关键词：

SECS/GEM; 半导体设备通讯标准; 半导体协议; 设备联网;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN305 [半导体器件制造工艺及设备];

学科分类号：

1401 ;

摘要：

为实现半导体设备接入工厂信息化管理平台,提出一种半导体设备通讯标准SECS/GEM协议的实现方法。通过对协议的整体分析,将各层协议的通讯状态合并,并在动态链接库中实现状态间的转换,应用程序通过调用动态链接库的方式实现与设备本身特性相关的协议。详述了动态链接库的实现方法,实测结果验证了方法的有效性,具有良好的实用性和可移植性,适应于各种半导体设备的联网实现。

引用

页码：103 / 106

页数：4

共 9 条

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