SECS/GEM标准模型分析及应用

被引：5
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作者：
张鹏程 [1 ]
张红雨 [1 ]
陈杨 [1 ]
机构：
[1] 电子科技大学电子工程学院
来源：
电子设计工程 | 2011年 / 14期
关键词：
SECS/GEM协议; HSMS协议; 半导体通讯标准; 半导体设备控制;
D O I：
10.14022/j.cnki.dzsjgc.2011.14.035
中图分类号：
TN305 [半导体器件制造工艺及设备];
学科分类号：
1401 ;
摘要：
SECS/GEM是半导体自动化生产中广泛采用的一个行业标准。首先介绍了SECS/GEM标准的整体框架,并分析了其行业发展状况,然后依次说明了SECSⅠ/Ⅱ、GEM、HSMS各个分层标准的数据报文格式、传输控制模型、状态转换模型以及相互间的通信控制方式等,最后分析了该标准在我国半导体自动化生产中的应用状况。实践表明,SECS/GEM标准设计严谨,适应面广,在我国半导体工业中应用前景广阔。
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