含Ni-Al阻挡层硅基BiFe0.95Mn0.05O3铁电电容器的结构及物理性能<spanid="corr-video"class="type"style="display:none">附视频</span>

被引：3

作者：

陈剑辉

刘保亭

魏大勇

王宽冒

崔永亮

王英龙

赵庆勋

韦梦袆

机构：

[1] 河北大学物理科学与技术学院

来源：

人工晶体学报 | 2011年 / 01期

关键词：

BiFe0.95Mn0.05O3; Ni-Al; 阻挡层; 漏电机制;

D O I：

10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2011.01.003

中图分类号：

O482.4 [电学性质];

学科分类号：

摘要：

以Ni-Al为阻挡层,在Si衬底上构架了SrRuO3(SRO)/BiFe0.95Mn0.05O3(BFMO)/SRO异质结电容器。X射线衍射(XRD)分析表明:Ni-Al阻挡层为非晶结构,BFMO薄膜为具有良好结晶质量的多晶结构。在5 kHz测试频率下,SRO/BFMO/SRO电容器呈现饱和的电滞回线。实验发现,SRO/BFMO/SRO铁电电容器具有良好的抗疲劳性能。漏电机制研究表明,外加电场小于210 kV/cm时,SRO/BFMO/SRO电容器满足欧姆导电机制,在电场大于210kV/cm时,满足空间电荷限流传导机制。

引用

页码：33 / 37

页数：5