溶胶-凝胶法制备BiFeO薄膜的结构及物性研究

被引：17

作者：

李丽

刘保亭

张新

闫小兵

郭颖楠

机构：

[1] 河北大学物理科学与技术学院

来源：

人工晶体学报 | 2008年 / 06期

关键词：

铁酸铋薄膜; 溶胶-凝胶法; 铁电性能; 漏电流;

D O I：

10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2008.06.045

中图分类号：

O484.1 [薄膜的生长、结构和外延];

学科分类号：

摘要：

应用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si(001)基片上制备了BiFeO3薄膜,构架了Pt/BiFeO3/Pt电容器。采用X射线衍射仪和铁电测试仪研究了Pt/BiFeO3/Pt电容器的结构和物理性能。实验发现BiFeO3最佳的结晶温度为600℃,X射线衍射图谱显示BiFeO3薄膜结晶状况良好,原子力显微镜照片显示BiFeO3表面颗粒均匀。Pt/BiFeO3/Pt电容器具有良好的电学性能,在驱动电压为5V的情况下,Pt/BiFeO3/Pt电容器的电滞回线具有良好的对称性,漏电流密度小于10-4A/cm2,研究发现BiFeO3薄膜log(J)/log(E)关系满足空间电荷限制电流传导机制。

引用

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