ELECTROCHEMICAL TECHNOLOGY IN ELECTRONIC INDUSTRY TODAY AND ITS FUTURE: A REVIEW.

被引:0
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作者
Romankiw, L.T. [1 ]
机构
[1] IBM, Thomas J. Watson Research Cent,, Yorktown Heights, NY, USA, IBM, Thomas J. Watson Research Cent, Yorktown Heights, NY, USA
来源
Oberflache Zurich | 1984年 / 25卷 / 08期
关键词
D O I
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学科分类号
摘要
ELECTRON DEVICE MANUFACTURE
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页码:238 / 247
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