Solid-phase epitaxial regrowth and dopant activation of P-implanted metastable pseudomorphic Ge0.12Si0.88 on Si(100)

被引:0
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作者
Lie, D.Y.C.
Theodore, N.D.
Song, J.H.
Nicolet, M.-A.
机构
来源
| 1600年 / American Inst of Physics, Woodbury, NY, USA卷 / 77期
关键词
D O I
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