Experimental investigation of shape changes in electrochemical micromachining through photoresist masks

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作者
机构
[1] Rosset, E.
[2] Landolt, D.
来源
Rosset, E. | 1600年 / 11期
关键词
Chemical Milling - Electrochemical Micromachining - Phynox;
D O I
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摘要
(Edited Abstract)
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