Design of thermo-driven silicon micropump and research on its fabrication processes

被引:0
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作者
Cui, Tianhong
Zhou, Zhaoying
Wang, Xiaohao
Ye, Xiongying
Yang, Yue
机构
来源
Yibiao Jishu Yu Chuanganqi/Instrument Technique and Sensor | / 08期
关键词
D O I
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