Growth of native oxide and accumulation of organic matter on bare Si wafer in air

被引:0
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作者
机构
[1] Okada, Chizuko
[2] Kobayashi, Hiroyuki
[3] Takahashi, Isao
[4] Ryuta, Jiro
[5] Shingyouji, Takayuki
来源
Okada, Chizuko | 1600年 / 32期
关键词
3;
D O I
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