Formation kinetics and infrared absorption of carbon-oxygen complexes in czochralski silicon

被引:0
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作者
Yamanaka, Hideki [1 ]
机构
[1] Huls Japan, Ltd, Utsunomiya, Japan
来源
| 1600年 / JJAP, Minato-ku, Japan卷 / 33期
关键词
Silicon;
D O I
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