Purity requirement of ultra-fine cleaning

被引：0
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作者：
Worsch C. [1 ]
Kohl M. [1 ]
Flämmich M. [1 ]
机构：
[1] Vacom Vakuum Komponenten and Messtechnik GmbH, Großlöbichau
来源：
JOT, Journal fuer Oberflaechentechnik | 2019年 / 59卷
关键词：
D O I：
10.1007/S35144-019-0130-5
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
Für Bauteilhersteller und Endanwender der Photonik, der Luft- und Raumfahrtindustrie sowie weiterer Branchen ist Oberflächensauberkeit heute essentiell. Diese Herausforderung kann alternativ zur Teilereinigung im eigenen Haus durch Reinigungsdienstleister gemeistert werden. Drei wichtige Schritte sind dabei erforderlich.
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