AMORPHOUS-SILICON SUPERLATTICE THIN-FILM TRANSISTORS

被引:22
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作者
TSUKUDE, M
HATA, S
KOHDA, Y
MIYAZAKI, S
HIROSE, M
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-3093(87)90076-7
中图分类号
TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
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页码:317 / 320
页数:4
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