INERT-GAS BUBBLE FORMATION IN THE IMPLANTED METAL-SI SYSTEM

被引:0
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作者
TSAUR, BY [1 ]
LIAU, ZL [1 ]
MAYER, JW [1 ]
机构
[1] CALTECH,PASADENA,CA 91125
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
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页码:C119 / C119
页数:1
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