ION-IMPLANTATION DISTRIBUTIONS IN CRYSTALLINE MULTILAYER TARGETS

被引：1
|
作者：
HAUTALA, M
KOPONEN, I
机构：
来源：
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS | 1987年 / 28卷 / 02期
关键词：
D O I：
10.1016/0168-583X(87)90110-8
中图分类号：
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号：
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要：
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页码：237 / 241
页数：5
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  • [22] ION-IMPLANTATION
    MACRAE, AU
    BULLETIN OF THE AMERICAN PHYSICAL SOCIETY, 1977, 22 (03): : 306 - 307
  • [23] ION-IMPLANTATION
    LANGOUCHE, G
    HYPERFINE INTERACTIONS, 1991, 68 (1-4): : 95 - 106
  • [24] ION-IMPLANTATION
    HERMAN, H
    MANUFACTURING ENGINEERING, 1985, 94 (05): : 11 - 11
  • [25] ION-IMPLANTATION
    PERLOFF, DS
    SOLID STATE TECHNOLOGY, 1985, 28 (02) : 127 - 127
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    DROZDA, TJ
    MANUFACTURING ENGINEERING, 1985, 94 (01): : 51 - 56
  • [27] ION-IMPLANTATION
    MOREHEAD, FF
    CROWDER, BL
    SCIENTIFIC AMERICAN, 1973, 228 (04) : 65 - 71
  • [28] ION-IMPLANTATION
    DEARNALEY, G
    NATURE, 1975, 256 (5520) : 701 - 705
  • [29] ION-IMPLANTATION
    OGALE, SB
    INDIAN JOURNAL OF TECHNOLOGY, 1990, 28 (6-8): : 486 - 499
  • [30] ION-IMPLANTATION
    ARMOUR, DG
    VACUUM, 1987, 37 (5-6) : 423 - 427
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